PZ 250 CAP WL專為直徑達12英寸的半導體晶片的精確定位而開發(fā)

 

公司簡介：

 

壓電位移臺PIEZOSYSTEM

德國PIEZOSYSTEM JENA成立于1991年，為半導體，顯微鏡和同步加速器領域提供壓電微定位，壓電定位和計量解決方案。PIEZOSYSTEM JENA在將壓電技術應用于定位任務，壓電彎曲階段的設計以及壓電機械系統的開發(fā)方面擁有廣泛的知識和深入的技術專長?；趬弘姷膬x器配備了壓電技術，可提供幾乎無限分辨率的XY或3D運動。PIEZOSYSTEM JENA的計量實驗室配備了高分辨率測距干涉儀，使其能夠對分辨率低至50皮米的壓電平臺，z軸顯微鏡壓電元件和壓電執(zhí)行器系統的自定義加載配置進行測試。準確確定一次共振是PIEZOSYSTEM JENA可以為客戶提供的眾多服務之一，以確保提供的系統能夠滿足苛刻的定位任務。

 

主營產品有：壓電陶瓷環(huán)、線性促動器、兩軸位移臺、三軸位移臺、五軸位移臺、偏擺臺等

 

PZ 250 CAP WL

 

PZ 250 CAP WL專為直徑達12英寸的半導體晶片的精確定位而開發(fā)。致動器在Z方向上提供250 μm的運動行程。可以實現納米級的精度。可以長期穩(wěn)定地保持特定的位置。由于其高硬度，PZ 250 CAP WL可以承載高達3公斤的負荷。

 

1、同一系列的不同型號之間，主要差別在于行程，以及行程不同引起的精度差異、尺寸差異等，例如：

 

型號：PZ 250 CAP WL

 

編號：S-627-51 D

軸：Z

行程 (±10%)：350μm

分辨率。：3nm

尺寸(長x寬x高)：400 x 380 x 20mm

 

PZ 250 CAP WL專為直徑達12英寸的半導體晶片的精確定位而開發(fā)