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德國(guó) Grobenzell VSH 高真空步進(jìn)電機(jī)

    

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品牌Grobenzell 有效期至長(zhǎng)期有效 最后更新2025-06-25 13:56
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德國(guó) Grobenzell VSH 高真空步進(jìn)電機(jī)

 自 1947 年于德國(guó) Grobenzell 小鎮(zhèn)創(chuàng)立以來(lái)，Phytron 始終秉持 “phutron a step ahead” 的創(chuàng)新哲學(xué)，在步進(jìn)電機(jī)領(lǐng)域精耕細(xì)作超 70 載。作為幕后的技術(shù)巨擘，Phytron 專注于攻克極端環(huán)境下的驅(qū)動(dòng)難題，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化、醫(yī)療、半導(dǎo)體，甚至助力 “好奇號(hào)” 火星車在火星探測(cè)任務(wù)中實(shí)現(xiàn)激光束與相機(jī)的精準(zhǔn)聚焦。憑借對(duì)真空兼容性、低溫適應(yīng)性及驅(qū)動(dòng)控制智能化的系統(tǒng)性突破，Phytron 構(gòu)建起豐富且性能卓越的產(chǎn)品矩陣，以滿足不同行業(yè)的嚴(yán)苛需求。

（一）VSH 高真空步進(jìn)電機(jī)?
  • 核心參數(shù)：該系列電機(jī)真空度可達(dá) 10?? mbar，能在超高真空環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。例如 VSH 80.200.5 型號(hào)，采用非磁性不銹鋼（如 V4A 材質(zhì)）與鍍金引線，將材料出氣率控制在 10?¹² Pa?m³/s 以下，有效避免在超高真空下出現(xiàn)冷凝與揮發(fā)問(wèn)題。通過(guò)焊接密封與迷宮式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，其泄漏率較傳統(tǒng)設(shè)計(jì)降低 99% ，確保內(nèi)部精密部件不受真空環(huán)境影響。保持扭矩范圍根據(jù)不同型號(hào)有所差異，可滿足多種負(fù)載需求。?
  • 應(yīng)用場(chǎng)景：在半導(dǎo)體蒸鍍?cè)O(shè)備中，VSH 高真空步進(jìn)電機(jī)成為 “標(biāo)準(zhǔn)配置”，用于精準(zhǔn)調(diào)節(jié)靶材位置，定位精度可達(dá) ±1μm，確保蒸鍍過(guò)程的均勻性與穩(wěn)定性，提高芯片制造的良品率。在電子束蒸發(fā)設(shè)備中，同樣能發(fā)揮其高真空適應(yīng)性與精準(zhǔn)定位優(yōu)勢(shì)，助力實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的薄膜制備 。?
（二）VSS 低溫步進(jìn)電機(jī)?
  • 核心參數(shù)：可在 - 196°C 至 + 85°C 的寬溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定工作，特別針對(duì)低溫環(huán)境研發(fā)了專用鋰基潤(rùn)滑脂與柔性電纜，保障電機(jī)在 - 196°C 液氮環(huán)境下啟動(dòng)扭矩波動(dòng)＜5% ，運(yùn)行平穩(wěn)。以 VSS32.200.1.2 型號(hào)為例，保持扭矩范圍從 3.4 mNm 至 13 Nm（具體依型號(hào)和配置而定） ，電機(jī)直徑涵蓋 19 至 125 毫米多種規(guī)格，適配不同空間與負(fù)載要求。搭配 SinCos 編碼器，可實(shí)現(xiàn) ±0.001mm 的重復(fù)定位精度，滿足超精密運(yùn)動(dòng)控制需求。同時(shí)，該系列電機(jī)具備抗輻射能力，輻射強(qiáng)度高達(dá) 10? J/kg ，并能承受一定的沖擊和振動(dòng)載荷，確保在復(fù)雜環(huán)境中的可靠性。?
  • 應(yīng)用場(chǎng)景：在生物樣本冷凍運(yùn)輸環(huán)節(jié)，VSS 低溫步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂完成超 10 萬(wàn)次液氮環(huán)境下的精準(zhǔn)抓取，且保持零故障記錄，為生物樣本的安全運(yùn)輸與存儲(chǔ)提供可靠保障。在冷凍電鏡的樣品臺(tái)驅(qū)動(dòng)中，其高精度定位與寬溫運(yùn)行特性，能夠確保樣品在低溫環(huán)境下穩(wěn)定成像，助力科研人員獲取高質(zhì)量的微觀結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù) 。
郭姝凡
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