ADL GG03.1電源應(yīng)用于微電子、光學(xué)和傳感器

ADL 離子源電源

對(duì)于離子源（Kaufmann 和 ECR）的作，可以使用特殊電源。根據(jù)要求，這些裝置還可以配備其他輸出電壓或輸出功率。所有電源均具有 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS232/484 接口。

ADL 突出

在離子束和等離子體工藝技術(shù)中的廣泛應(yīng)用

蝕刻、濺射等等

ADL 創(chuàng)新創(chuàng)新應(yīng)用，例如微電子、光學(xué)和傳感器

 

ADL指示

電流和電壓的31/2位數(shù)字顯示

ADL控制

電流或電壓控制

ADL操作模式

通過(guò)前面板或外部控制接口手動(dòng)

ADL

設(shè)定值

0...100%的額定值電流和電壓

輸出精度

電流或電壓的標(biāo)稱(chēng)值的+/-1%

ADL冷卻系統(tǒng)

空氣冷卻

內(nèi)置風(fēng)扇，最大環(huán)境溫度40℃

風(fēng)扇噪音排放

噪音水平<70 分貝(A)

ADL機(jī)械數(shù)據(jù)

尺寸

寬度:218毫米(1/219英寸)，高度:132.5毫米(3HU)，長(zhǎng)度560

重量(不含包裝)

11千克

控制插座X3-接口AS4

這個(gè)25針Sub.-D-插座是所有信號(hào)接口，用于遠(yuǎn)程開(kāi)關(guān)機(jī)、選擇工作模式、

輸入設(shè)定值以及監(jiān)測(cè)電流、電壓和功率的實(shí)際值。

ADL控制輸入:

控制輸入通過(guò)光耦合器或繼電器(聯(lián)鎖和SV.-Ext.)提供，從而實(shí)現(xiàn)電氣隔

離。為了設(shè)置一個(gè)功能，將+24V的電壓施加到相應(yīng)的控制輸入。該電壓始

終參考引腳21(數(shù)字Gnd)。如果無(wú)法獲得外部的+24V控制電壓，可以將

引腳21(數(shù)字GND)連接到引腳25(GND)，并將相應(yīng)的輸入連接到引腳

14 (+24V)。